佳能高管分享光刻技术进展及对中国芯片市场的看法

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2022 年中国国际进口博览会 (CIIE) 于 11 月 5 日至 10 日在上海举行，ASML、Lam Research、佳能和尼康等主要芯片制造工具制造商参加。

后两者的存在在今年尤为重要。最关键的芯片制造设备光刻机供应商 ASML 已停止为中国客户提供服务，原因是根据美国 10 月 7 日公布的芯片出口新管制，美国工程师在没有许可证的情况下不能为中国先进芯片制造商工作。据路透社报道，虽然 ASML 以 90% 的份额占据光刻市场的主导地位，但日本传统光学巨头佳能和尼康正日益争夺该业务的立足点 - 现在有机会打入中国市场。

佳能于 1980 年代进入中国的半导体制造工具业务，向当地客户运送光刻工具和其他芯片制造工具。根据公司在 CIIE 上的宣传册，如今，佳能向包括中芯国际、长江存储和京东方在内的主要中国公司供应设备。

在11月7日的展会集体采访中，佳能光学工业设备（上海）有限公司董事长兼总裁牧野彰谈到了该公司的光刻设备及其对中国市场的看法。尽管最近消费市场低迷，他也表达了乐观态度。

以下是采访中有关中国市场的精选要点。为清楚起见，对文本进行了翻译、压缩和编辑。

我们量产的最先进设备是氟化氪 (KrF) 光刻，其波长为 248nm。它可以应对的最小线宽是90nm。

芯片制造可能需要多层，过程相当耗时，但并非所有层都需要最专用的设备。对于那些“粗糙层”，我们的 KrF 光刻技术可以胜任。我们也在研发新设备，但我们认为它还没有准备好量产。

从技术角度来看，我们的产品在模型制作方面与我们的主要竞争对手有着根本的不同。我们正在贡献的技术纳米压印光刻 (NIL) 有望降低生产成本，因为目前极紫外 (EUV) 光刻的成本相当高。如果我们设法让设备为量产做好准备，那将是革命性的，将大大降低制造先进芯片的成本。

其次，与 EUV 相比，我们的设备非常节能，这是另一大成本优势。

最后，纳米印刷图案每层印刷一次，不像传统光刻那样使用复杂的工艺，例如自对准双图案和自对准四重图案（SADP/SAQP），单图案层可能需要两次以上的曝光，因此我们相信这也可能会带来生产力优势。

我们的客户拥有的具体销售数字和单位数量是分类的。但根据公开数据显示，2020年中国市场已经成为佳能最大的市场。对于许多半导体制造商来说，中国可能是他们最大的市场。

相对而言，我们的光刻和平板显示器 (FPD) 制造业集中在亚洲。在这一地区，中国的份额最高：中国贡献了佳能FPD业务在FPD光刻设备和OLED显示制造设备中的最大份额。

对于佳能来说，与客户和合作伙伴的关系对我们来说非常重要。我在中国负责光刻业务 17 或 18 年。在此期间，我与中国的客户建立了良好的合作伙伴关系。其中一些是国内公司，一些来自韩国、欧美等地区。

当然，很多因素可能不是公司或个人所能控制的。但对于佳能和我个人而言，我们始终坚持“与客户的关系最重要”的方针。我们将继续为我们的客户提供优质的产品和服务，并为他们未来的发展做出贡献。

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